Kužele s iontovým paprskem

SIKAIDA Ion Beam Cones jsou základní součásti systémů implantace a přenosu iontového paprsku. Vyrobeny z vysoce čistých pokročilých keramických materiálů a zpracované přesným vstřikováním a vysokoteplotním slinováním, vyznačují se extrémně nízkým obsahem nečistot, vysokou teplotní odolností a stabilní rozměrovou přesností. Lze je obrábět do složitých geometrií, aby splňovaly extrémně vysoké požadavky na toleranci, díky čemuž jsou vhodné pro vysoce výkonné procesy implantace polovodičových iontů.

Jako profesionální výrobce v Číně poskytuje SIKAIDA spolehlivé, nákladově efektivní a přizpůsobitelné kužely iontového paprsku zákazníkům po celém světě v oblasti polovodičů, plochých displejů, optiky, mikroelektromechanických systémů (MEMS) a solárních energetických polí. SIKAIDA je důvěryhodným dlouhodobým dodavatelem a specializovaným výrobním závodem pro špičkové komponenty pro proces iontového paprsku.

Materiály a výroba

1. Materiály

Ion Beam Cones používá materiály včetně oxidu hlinitého (Al₂O3) s čistotou ≥99,9 %, nitridu křemíku (Si3N4) s čistotou ≥99,5 %, oxidu zirkoničitého (ZrO₂) s čistotou ≥99,8 %, taveného oxidu křemičitého (9,9 %, 9,9 %) Všechny materiály splňují přísné standardy čistoty v polovodičovém průmyslu a jsou vhodné pro výkonové požadavky různých aplikací.

2. Výrobní proces

Výrobní proces zahrnuje přesné vstřikování, vysokoteplotní slinování, CNC přesné obrábění, leštění na zrcadlové úrovni a automatické čištění a testování. Každý proces je přísně kontrolován z hlediska přesnosti a kvality, aby bylo zajištěno, že konečný produkt splňuje průmyslové standardy a požadavky zákazníků.

Klíčové parametry produktu

1. Rozměrová přesnost

Kužele s iontovým paprskem mají tolerance řízené v rozmezí ±0,05 mm, drsnost povrchu Ra≤0,4μm, přesnost zúžení vnitřního otvoru ±0,02 mm, souosost ≤0,03 mm a kolmost ≤0,02 mm. Tato extrémně vysoká rozměrová přesnost účinně zajišťuje přesnost přenosu iontového paprsku.

2. Povrchová úprava

Povrchové úpravy zahrnují mechanické leštění pro zrcadlovou úpravu, UV vytvrzované povlaky pro zlepšení povrchových vlastností, povlaky odolné proti poškrábání pro zlepšení odolnosti proti opotřebení a kyselé moření a pasivaci pro odstranění nečistot a zlepšení stability. Na základě požadavků aplikace lze zvolit vhodné metody ošetření.

3. Výkonnostní ukazatele

Iontové kužely fungují v teplotním rozsahu -196 ℃ až +800 ℃, což zajišťuje stabilní provoz v prostředí s extrémními teplotami. Mají objemový odpor ≥10¹⁴Ω·cm a povrchový odpor ≥10¹²Ω a vykazují vynikající izolační vlastnosti. Mají také vynikající odolnost vůči plazmové a chemické korozi, což jim umožňuje přizpůsobit se složitému procesnímu prostředí.

Hlavní výhody

1. Ultra vysoká čistota: Čistota suroviny přesahuje 99,9 %, minimalizuje kontaminaci polovodičových destiček, zajišťuje stabilní elektrický výkon zařízení a splňuje přísné požadavky na čistotu při výrobě polovodičů.

2. Extrémně vysoká geometrická přesnost: Zajišťuje konzistentní rozměry produktu během hromadné výroby, s kuželovou chybou řízenou v rozmezí ±0,05 mm a chybou kruhovitosti ≤0,02 mm, přesně vyhovující požadavkům na instalaci a použití systémů přenosu iontového paprsku.

3. Kvalita povrchu podobná zrcadlu: Drsnost povrchu Ra≤0,4μm, účinně snižuje rozptyl iontového paprsku, zlepšuje rovnoměrnost přenosu iontového paprsku a dále optimalizuje přesnost implantace polovodičových zařízení.

4. Stabilita širokého teplotního rozsahu: Pracuje stabilně v hlubokých kryogenních až vysokoteplotních prostředích. Materiál má extrémně nízký koeficient tepelné roztažnosti, zachovává si vynikající rozměrovou stálost i při změnách teploty a zabraňuje vlivům na výkon v důsledku teplotních výkyvů.

5. Vynikající izolace a odolnost proti korozi: Účinně zabraňuje akumulaci náboje během přenosu iontového paprsku a odolává silným kyselinám, silným zásadám a různým plazmovým korozi, což zajišťuje dlouhodobý stabilní provoz ve složitých procesních prostředích.

Přizpůsobené služby

Modely a velikosti produktů lze přizpůsobit podle různých požadavků procesu. Mezi podporované formáty výkresů patří STP, STEP, IGS, XT, DXF, DWG, PDF a fyzické vzorky. Pokud jde o dodací lhůtu, dodání vzorku je 4-7 týdnů a dávkové dodání produktu je 8-12 týdnů. Náš systém kvality je v souladu s normami ISO9001:2015, SGS RoHS, REACH a SEMI a komplexně zajišťuje kvalitu produktů a efektivitu dodávek.

Oblasti použití

Iontové kužely jsou široce používány v mnoha oblastech, včetně iontových implantátorů při výrobě polovodičů, zpracovatelských zařízení v plochých panelových displejích, systémů pro nanášení iontovým paprskem (IBD) a leptání iontovým paprskem (IBE) při výrobě optických zařízení, výrobu mikroelektromechanických systémů (MEMS), iontové dopingové zařízení pro solární články a procesy iontové implantace pro výkonové polovodičové zařízení (např. MOSFETy.

Často kladené otázky:

Q1: Jaké materiály se obvykle používají v kuželech s iontovým paprskem?

A1: Primárně používáme pokročilé keramické materiály, jako je vysoce čistý oxid hlinitý (Al₂O₃), nitrid křemíku (Si3N₄) a oxid zirkoničitý (ZrO₂). Tyto materiály mají extrémně vysokou čistotu, vynikající odolnost vůči vysokým teplotám a stabilní elektrické vlastnosti.

Q2: Může UET poskytnout přizpůsobené specifikace a povrchové úpravy? 

A2: Ano. UET může přizpůsobit velikost, kužel, typ materiálu a povrchovou úpravu kuželů podle vašich požadavků na proces. Máme rozsáhlé výrobní zkušenosti a dokážeme splnit specifické požadavky zákazníků na aplikace.

Q3: Jak je zaručena přesnost a kvalita kuželů s iontovým paprskem?

A3: Přijímáme systém řízení kvality ISO9001:2015 a jsme vybaveni vysoce přesným testovacím zařízením, včetně souřadnicového měřicího stroje, testeru drsnosti povrchu a rentgenového fluorescenčního spektrometru, abychom zajistili, že každá šarže produktů splňuje přísné průmyslové normy.

Q4: Jaký je dodací cyklus?

A4: Cyklus dodání vzorku je 4–7 týdnů a cyklus dodávky dávkového produktu je 8–12 týdnů. Konkrétní cyklus závisí na složitosti produktu a množství objednávky.